當前位置(zhì):首頁|HL係列多弧離子真空鍍膜機(jī)
工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點
技術參數表
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT400擴(kuò)散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係(xì)統 | 專用(yòng)多(duō)弧鍍膜電源+多功能孿(luán)生磁環弧靶+柱(zhù)形弧靶(可選(xuǎn)配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子(zǐ)輔助源(yuán)(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充(chōng)氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 |
控製方式 | 手動(dòng)或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自(zì)動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限(xiàn)真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考(kǎo),具體均按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |