SF係列電子束蒸發光學(xué)真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24954
SF係列電子束蒸發(fā)光學真空(kōng)鍍膜(mó)機

工(gōng)作原(yuán)理

電子束蒸發是(shì)將膜材放入水冷(lěng)銅坩堝(guō)中,直接(jiē)利(lì)用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出(chū)後入射到基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度(dù)快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍(dù)膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分(fèn)光膜(mó)、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜(mó)係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片(piàn)、光(guāng)學鏡頭、冷光杯(bēi)等產品的鍍(dù)膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚(hòu)儀(yí)可鍍(dù)多種膜係(xì),對金屬、氧化物(wù)、化合物及其他高熔點膜材皆可(kě)蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係(xì)統(tǒng)聯合實現對整個工(gōng)作過程的自動控製,工作效率和產品(pǐn)質量重複性一致(zhì)性(xìng)優良.
2)適用於光學領域行業(yè),大規模工業(yè)生產要求的(de)廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散(sàn)泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用(yòng)電源或霍爾離(lí)子源
充氣係統(tǒng)壓強控製儀
控製方式手動或(huò)半自動
膜厚監控(kòng)係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真(zhēn)空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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