CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人(rén)氣:78063
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就(jiù)是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜(jìng)止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數(shù)電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下(xià),加(jiā)速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材(cái)發生濺射。
廣泛應用於家電電器(qì)、鍾表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性鍍膜及工模具的功能塗層,在(zài)鍍(dù)製超(chāo)黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性(xìng)好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且(qiě)濺射鍍膜可以在較大的(de)表麵上(shàng)獲得厚度均勻的(de)膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層(céng);
3)、製備特殊材料的(de)薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混(hún)合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿(fǎng)金(jīn)膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋(guō)加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源(yuán) |
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流(liú)量計 |
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手(shǒu)動或全自動 |
極限真空(kōng) | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做 |