CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人(rén)氣:78063

CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機

工作原(yuán)理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就(jiù)是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜(jìng)止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數(shù)電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下(xià),加(jiā)速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材(cái)發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器(qì)、鍾表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性鍍膜及工模具的功能塗層,在(zài)鍍(dù)製超(chāo)黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性(xìng)好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且(qiě)濺射鍍膜可以在較大的(de)表麵上(shàng)獲得厚度均勻的(de)膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層(céng);
3)、製備特殊材料的(de)薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混(hún)合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿(fǎng)金(jīn)膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋(guō)加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術(shù)參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室(shì)尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜(mó)係統直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源(yuán)
充氣係(xì)統質量流量計質量流量計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計質(zhì)量流(liú)量計
控製方式手動或全(quán)自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自(zì)動手(shǒu)動或全自動
極限真空(kōng)5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做
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