SF係列電子束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24952
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原(yuán)理

電子束蒸發是將膜材(cái)放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使(shǐ)膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸(zhēng)發比一般電阻加熱(rè)蒸(zhēng)發熱效率(lǜ)高、束流密度(dù)大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範(fàn)圍(wéi)

光(guāng)學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾(lǜ)光膜、分光膜(mó)、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係(xì),能夠實現0-50層膜的膜係(xì)鍍(dù)膜,也能滿足如汽車反光玻(bō)璃、、眼(yǎn)鏡片、光學鏡頭、冷(lěng)光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子(zǐ)槍和離子源及(jí)膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍(dù)

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效(xiào)率和產品質量重複性一(yī)致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生(shēng)產(chǎn)要求的(de)廠商使用。

技術(shù)參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組KT500擴散(sàn)泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組
鍍膜係統(tǒng)電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製(zhì)儀
控製方式手動或半自動
膜(mó)厚監控係統石(shí)英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以(yǐ)上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做
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