工作原理(lǐ)
應用(yòng)範圍
產品特(tè)點
技術參數表
ZF係(xì)列電阻蒸(zhēng)發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | ZF-600 | ZF-1200 | ZF-1400 | ZF-1600 | ZF-1800 | ZF-2000 | ZF-2200 |
真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×2200MM | Φ2200×2400MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT6300擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機(jī)組(zǔ) | 雙KT1000擴散(sàn)泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻(zǔ)蒸發專用變(biàn)壓器、鍍膜輔助離子專(zhuān)用電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全自(zì)動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數僅做參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做(zuò),可選擇保護(hù)膜鍍膜功能 |