CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:78062
CJ係列磁控(kòng)濺射真(zhēn)空鍍(dù)膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體(tǐ)表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這(zhè)種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻電場和對數電場(chǎng)則分別用於平麵靶和同軸圓柱(zhù)靶。電子在電(diàn)場作用下,加速飛向(xiàng)基片的過程中與(yǔ)氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則(zé)電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基(jī)片(piàn),Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(jí)(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材(cái)發生濺射。
廣泛應(yīng)用於家電電器、鍾表(biǎo)、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的(de)功能塗層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重(chóng)複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度(dù)均勻(yún)的膜層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強。部分高能(néng)量的濺射原子(zǐ)產(chǎn)生不同程(chéng)度的注入現象,在基片上形(xíng)成(chéng)一層(céng)濺射原(yuán)子與基片原子相互溶合的偽(wěi)擴散層;
3)、製備特殊材料的薄(báo)膜,可以使(shǐ)用(yòng)不同的材料(liào)同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器(qì)材料的成份(fèn)。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能(néng)。
CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT800擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 直流或(huò)中頻(pín)電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式(shì) | 手動或全自動(dòng) | 手(shǒu)動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計訂做 |