真空鍍(dù)膜機精抽太慢(màn)的幾個原因
作者: 來源: 日期:2017-05-12 16:38:58 人氣(qì):39051
真空鍍膜機精抽太慢主要從以下幾個方麵進行原因查找:
一、擴散泵可能不太(tài)給力。
解決(jué)辦法:可以用電離規單接到擴(kuò)散泵泵(bèng)口,看擴散泵單抽能達到多少,要看抽的時間和極限,然後進行對比。
二、真空係統有微漏。
解決辦法:這就需要慢慢檢漏,看看保真空時間能不能達(dá)不達標。
三、箱體太髒,太髒(zāng)放氣(qì)量就(jiù)大(dà)了(le)。
解決辦法(fǎ):清洗箱體
四、前級真空度不行,機械泵或機械泵加羅茨泵的極(jí)限真空不(bú)行。
解決辦法:可以用電阻規單獨檢測前級管道。