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現代真空鍍膜機膜厚的測量及監控(kòng)方法

作者: 來源: 日期(qī):2016-01-12 16:12:17 人氣:111122
    最直接的鍍膜控(kòng)製方法是石英晶(jīng)體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控(kòng)製循環驅動擋板,保持蒸發(fā)速率。隻要將儀器與係統控製軟件相連接(jiē),它就可以控(kòng)製整個(gè)的鍍膜(mó)過程。但(dàn)是(QCM)的精確度是有限的,部(bù)分原因(yīn)是由於它監控(kòng)的是被鍍(dù)膜的質(zhì)量(liàng)而(ér)不是其(qí)光學厚度(dù)。
    此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定,但溫度較高時,它會變得對溫度(dù)非常敏感。在長時間的加熱過程中,很難阻止(zhǐ)傳感器(qì)跌入這個敏感區域,從(cóng)而對膜(mó)層造成重大誤差。
    光學監控是(shì)高精密鍍膜的的首選(xuǎn)監控方式,這是因為它可以更精確地控製(zhì)膜層厚度(如果運用得當)。精確度的改進(jìn)源於很多因素,但(dàn)最根本的原因是對光學(xué)厚度的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學(xué)監控係統,是采用間接測控,結(jié)合汪博士開發(fā)的先進光學監控(kòng)軟件,有效提高光學反應對膜(mó)厚度變化靈敏度的理論和方法來減少終極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範(fàn)圍的監測波長。特(tè)別適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控(kòng)。
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