1)、固定筒3 圓筒形狀、大直(zhí)徑、厚壁(bì)結構的(de)設計和周向對(duì)稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料(liào)對其內部零部件(jiàn)汙染(rǎn),保證撥動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增(zēng)大軸1 的(de)直徑尺寸(cùn),加大軸承座2 中兩軸承的安裝(zhuāng)間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛(gāng)度和撥動盤15的旋轉靈活性、位(wèi)置重(chóng)複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直(zhí)徑,使該機構在平麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(dà)(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光(guāng)學薄膜質量(liàng);比(bǐ)較片(piàn)12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在(zài)一個比較片存儲筒13 內,實現一次(cì)可放置50~100 片比較片(piàn),解決
鍍膜機鍍製多層精密光學薄膜,比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型(xíng)光藕17 的(de)配合,通過槽型光藕來感(gǎn)知定位(wèi)盤上三(sān)個(gè)均(jun1)分的120°狹縫,控製電機轉動停(tíng)止(zhǐ)。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作(zuò)。
5)、 轉動密封饋入機構引入威爾遜(xùn)密封機構5,既保證電機9 通過齒(chǐ)輪齧合帶動軸1 的靈活轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強度(dù)高(gāo),可靠性好(hǎo);(2)比較(jiào)片裝載數量大,生(shēng)產效率(lǜ)提(tí)高,可(kě)鍍製超多層精(jīng)密光學薄(báo)膜;(3)比較片(piàn)直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製;(4)維(wéi)護保(bǎo)養費用低。
通過對(duì)真空鍍膜機多片式比較片(piàn)裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活(huó)性和重複的一致性,解決了比較片有效麵積小,光路調(diào)整不(bú)方便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可以使現(xiàn)有(yǒu)的真空鍍(dù)膜機鍍(dù)製(zhì)光學薄膜的質量大大提(tí)高,並且30 層以上的光學薄膜(mó)得以鍍製完成。實踐證明此比較(jiào)片(piàn)結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推(tuī)廣和實(shí)施,