真空鍍膜機（jī）主要指一（yī）類需要在較高真空度下進行的（de）鍍（dù）膜，具體包括很（hěn）多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很（hěn）多種（zhǒng）。主（zhǔ）要思路是分（fèn）成（chéng）蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條件應（yīng）用最為（wéi）廣泛的（de）設（shè）備，對其操作（zuò）程（chéng）序的了解是至關重要的環節，在真空（kōng）鍍膜機的具體操作過程中建議參照（zhào）以下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操作（zuò）控製開關是（shì）否在"關"位置。

        二（èr）、打（dǎ）開總電源開（kāi）關，設備（bèi）送電。

        三、低（dī）壓閥拉出。開充氣閥（fá），聽不（bú）到氣（qì）流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺（luó）旋加熱子（zǐ）。把PVDF薄膜和（hé）鋁蓋板（bǎn）固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開（kāi）複合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左（zuǒ）旋鈕（niǔ）"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表（biǎo）"2"內（nèi）指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）2區段測量位置。

        八（bā）、當低真空表（biǎo）"2"內指針再（zài）次順時針移動至6.7Pa時（shí），低壓閥推入。這時（shí）左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜（mó）機開通（tōng）冷（lěng）卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低（dī）壓閥拉出。重複一次⑦動作程序（xù）:左下旋鈕（niǔ）"1"轉至指向2區段測量位置。低真空表"2"內指針（zhēn）順時針移（yí）動，當（dāng）指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥（fá）杆順時針旋轉)。

        十（shí）一、等低真空表"2"內指針（zhēn）右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發射、零點測量（liàng）鈕"9"旋轉至指向發射位（wèi）置。

                2）左下旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發（fā）射（shè）調節鈕（niǔ）"4"，使高壓真（zhēn）空表"5"內指針指（zhǐ）向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉零點調節（jiē）鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五（wǔ）、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉（zhuǎn）至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器（qì）"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指（zhǐ）針逆時針左移超過1時，再把（bǎ）"倍加器"開關旋（xuán）鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十（shí）八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時（shí），開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設（shè）有1、 2、 3、 4孔，可插入任意（yì）一（yī）孔)。

        二十、 右手旋轉（zhuǎn）右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的（de）加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢（wū）螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移（yí）開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手旋轉（zhuǎn）調壓器手輪（lún）回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電（diàn）流（liú）分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作。

        二十二、 關閉規管燈（dēng）絲開關。關（guān）閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸（zhēng）發。旋轉機械泵鈕至（zhì）指向擴散（sàn）泵（bèng）位置。

        二十（shí）三、 低壓（yā）閥拉出（chū）。鍾罩充氣。充（chōng）氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。

        二十四、鎢（wū）螺旋加熱子內（nèi）加鋁（lǚ）絲（sī）。PVDF薄膜調換另一麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在（zài）轉動圓盤上。

        二十五、 落鍾（zhōng）罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段（duàn）測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋（xuán）鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向（xiàng）1區段測量位置。

                    4）當低（dī）壓真空表"2"內指（zhǐ）針順時針（zhēn）移動（dòng）到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指（zhǐ）針順時針移動（dòng）到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重（chóng）複操作至⑳ 。

        二（èr）十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉（bì）規管燈絲，高壓閥、低壓閥（fá）拉出。來（lái）電（diàn）後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生（shēng）產。