通（tōng）俗的定義（yì）為在正常狀況（kuàng）下，其應用（yòng）功能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須（xū）具有（yǒu）堅牢的附著力、很低的內應力、針孔密度很少、夠（gòu）強的機（jī）械性能、均勻的膜厚、以及足夠的（de）抗化學侵蝕性（xìng）。

薄膜的（de）特（tè）性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的（de）形成和基（jī）材的影響，隨後的熱處理（lǐ）亦扮演重要角色。 

沉積的薄膜有內應力的存（cún）在，其來源為何? 

薄膜（mó）和基材之間的晶格失（shī）配（pèi） 

薄膜和基材之間的熱膨脹係數差異 

晶（jīng）界之間的（de）互擠