微信掃一掃 關注久久成色免费最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主（zhǔ）要是由氣體在高電磁場作用下發生解離，形成一（yī）種包括電子（帶負電），正離子（帶（dài）正電），自由基和中性氣（qì）體（tǐ）分子組成的高活性（xìng）物質（zhì），通產情況下會發光。
一（yī）般情況下，等離子中的正電荷數等於負電（diàn）荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中見到的閃電、日光燈、霓虹燈就是等離子體發光現象。
等離（lí）子的產（chǎn）生有很多種方法，但生成和維持都需要外（wài）部能量的輸入。
電子從外加（jiā）電磁場獲（huò）得能量，然後發生非彈（dàn）性碰（pèng）撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反（fǎn）應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質（zhì），然（rán）而在解離（lí）碰撞中，電子可能（néng）與氣體離子有再結合作用，或者因為漂移及擴散而離開電磁場（chǎng）範圍等（děng）原因消失，因（yīn）此當電子產生與消失的（de）速率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒（lì）子碰撞前能夠移動的平均距離。MFP與（yǔ）環境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽（me）plasma產生（shēng）要在低壓近似（sì）真空環境下產（chǎn）生，因（yīn）為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很（hěn）短，很難獲得足夠（gòu）的能力來使用氣體離子化（huà）。