低真空的獲（huò）得  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容（róng）器內氣體的（de）體積不斷膨（péng）脹（zhàng），從（cóng）而獲得真空的裝置。

它可以直接在大氣壓下（xià）開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大小有關，一（yī）般在每秒幾（jǐ）升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴（kuò）散（sàn）泵是（shì）利用氣體（tǐ）擴散現（xiàn）象來抽氣（qì）的，它（tā）不能直接在大（dà）氣壓下工（gōng）作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限真空度主要取決於油蒸（zhēng）汽壓和（hé）氣（qì）體（tǐ）分子的反擴散，一般能（néng）達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每秒幾（jǐ）升--幾百升不等。