對於真空鍍膜機設備的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束外(wài)延鍍膜機和PLD激(jī)光濺射(shè)沉積鍍膜機等很多種。
主要是分成(chéng)蒸發和濺射兩種。
在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜(mó)的被成為基片,鍍的材(cái)料被成為靶材。
基片(piàn)與靶材同在真空腔中。
蒸發鍍(dù)膜(mó)一般是加熱靶材(cái)使表(biǎo)麵組分以(yǐ)原子團或離子形式被蒸發出來,並(bìng)且沉降在基片表麵,通過成(chéng)膜(mó)過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於(yú)濺射類鍍膜,可以簡單(dān)理解為利(lì)用電(diàn)子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分(fèn)以原子團或離子形式被濺射出來,
並且最終(zhōng)沉積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜(mó)。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙(shuāng)層水冷結構。
根據工藝要求選(xuǎn)擇不(bú)同規格及類型(xíng)鍍膜設備,其類型(xíng)有電(diàn)阻蒸發真空鍍膜設備、電子束(shù)蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子(zǐ)鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉(zhuǎn)方式,用(yòng)戶可根據片尺寸及形狀提(tí)出相應要求,轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及變頻(pín)調速等。