真空蒸鍍(dù)、濺鍍、離子鍍
真空鍍主要包(bāo)括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種(zhǒng)類(lèi)型,它們都是采用在真空條件下,通過(guò)蒸餾或濺射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜(mó),通過這樣的方式可以得到非(fēi)常薄的表麵鍍層,同時具有速度快(kuài)附著力好的突出優點,但是(shì)價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功(gōng)能性鍍(dù)層。
真空蒸鍍法是在高真(zhēn)空下為金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在(zài)樣品表麵形成金屬薄膜的方法(fǎ),鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品(pǐn)表麵的(de)微小凹凸(tū)部分填(tián)平,以(yǐ)獲(huò)得如鏡(jìng)麵一樣的表麵,無任是為(wéi)了(le)得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是(shì)對密接性較低的奪鋼(gāng)進行真空蒸鍍時,都必(bì)須進行底麵塗布處理(lǐ)。
濺鍍通(tōng)常(cháng)指的是磁控濺鍍,屬於高速低(dī)溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右(yòu),即1.3×10-3Pa的(de)真(zhēn)空狀態充入惰性氣體氬(yà)氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生(shēng)的電子激發惰性氣體,產生等離子體,等離子體將(jiāng)金屬(shǔ)靶材的原(yuán)子轟出,沉積在塑(sù)膠基材上。一般金屬鍍膜大(dà)都采(cǎi)用直流濺鍍,而不導電的陶磁材料(liào)則(zé)使用RF交流濺鍍。
離(lí)子鍍是在真空(kōng)條件下,利(lì)用氣體放電使氣體或被蒸發物質部分電離,並在氣(qì)體離(lí)子或被蒸發物質(zhì)離(lí)子的轟擊下,將蒸發物(wù)質或其(qí)反應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子(zǐ)鍍、反應離子鍍、空心陰極放電(diàn)離子鍍(空心(xīn)陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧離子(zǐ)鍍)等。